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溅射沉积AlNx薄膜原子力形貌，中
  • 期刊名称：中国一航北京航空制造工程研究所会议20070628，北京
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 牟宗信，王振伟，刘升光，赵华玉
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期刊论文 18
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