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平面磁控溅射靶磁场的计算,真空
  • 期刊名称：真空科学与技术，2008
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 赵华玉 牟宗信 贾莉 张鹏云 郝胜
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驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
期刊论文 18
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