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非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜
  • 期刊名称：物理学报2005/03 P1378-1384
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 牟宗信，李国卿，秦福文
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期刊论文 18
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