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点缺陷分布对薄膜生长形貌的影响
  • 期刊名称：钢铁研究学报，2007，第19卷，增刊1
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 刘升光，牟宗信，余虹，姜东光
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期刊论文 18
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