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磁控溅射启辉电压波动和机理，“
  • 期刊名称：第十二届全等离子体科学技术会议”2005年8月26-28日，东华大学
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 牟宗信*，邓新绿，苟伟，李国卿
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驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
期刊论文 18
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