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磁镜场约束非平衡磁控溅射沉积系
  • 期刊名称：中国物理学会2006秋季学术会议CPS2006, 北京：清华大学2006．9．15-17
  • 时间：0
  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： 牟宗信、李亚军、李国卿,
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驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
期刊论文 18
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