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Investigation of the mechanica
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  • 相关项目：驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
作者： Zongxin Mua, Aimin Wu,Li Jia,
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驻波脉冲功率共振耦合非平衡磁控溅射等离子体原理
期刊论文 18
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