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SiC单晶生长研究进展
  • 期刊名称：材料导报
  • 时间：0
  • 页码：6. 32-36, 2002 (EI)
  • 语言：中文
  • 相关项目：第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
作者： 陈之战|施尔畏|肖兵|庄击勇|
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第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
期刊论文 30 会议论文 1
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