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大尺寸6H-SiC单晶半导体材料的生长
  • 期刊名称:无机材料学报
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 页码:17. 685-690, 2002
  • 语言:中文
  • 相关项目:第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
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