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大尺寸6H-SiC单晶半导体材料的生长
  • 期刊名称：无机材料学报
  • 时间：0
  • 作者或编辑：3448
  • 页码：17. 685-690, 2002
  • 语言：中文
  • 相关项目：第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
作者： 陈之战|肖兵|施尔畏|庄击勇|
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第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
期刊论文 30 会议论文 1
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