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大尺寸6H-SiC单晶半导体材料的生长
期刊名称:无机材料学报
时间:0
作者或编辑:3448
页码:17. 685-690, 2002
语言:中文
相关项目:第三代半导体材料SiC大尺寸单晶和薄膜生长研究
作者:
陈之战|肖兵|施尔畏|庄击勇|
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