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宏微定位平台运动切换减振问题研究态势
  • ISSN号：1005-2402
  • 期刊名称：制造技术与机床
  • 时间：2014
  • 页码：48-54
  • 分类：TB535.1[理学—物理;理学—声学]
  • 作者机构：[1]广东工业大学机械装备制造与控制技术教育部重点实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金(U1134004);国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB013104);广东省高等学校科技创新重点项目(2012CXZD0020);广东省战略性新兴产业专项(2012A080303004)
  • 相关项目：面向微电子制造的高速高精度运动平台的设计及控制科学问题与关键技术研究
作者： 张揽宇|高健|
关键词： 微电子制造装备, 宏微高速高精密定位平台, 运动切换环节减振, 压电陶瓷主动减振
中文摘要：

高速高精密定位平台是微电子制造装备领域的核心部件,决定着微电子产品的性能与质量。近年来,宏微复合定位平台技术得到了快速发展,高速度与高精密度等性能不断提升,然而,运动切换环节的振动问题也日益凸显,成为制约宏微定位平台进一步发展的瓶颈。基于此,首先对当前国内外宏微定位平台及其运动切换环节振动问题的研究现状进行介绍,继而分别介绍与分析了宏微定位平台系统的机构形式、驱动方式、导轨及其他因素对运动切换环节振动问题的影响,最后对目前运动切换减振方法进行概述,重点提出基于压电陶瓷的新型减振方法,以期对未来宏微定位平台运动切换的减振研究提供一定的参考作用。

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期刊信息
  • 《制造技术与机床》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科协
  • 主办单位:中国机械工程学会 北京机床研究所
  • 主编：梁玉
  • 地址：北京市朝阳区望京路4号
  • 邮编：100102
  • 邮箱：edit@mtmt.com.cn
  • 电话：010-64739683/85/79/74
  • 国际标准刊号：ISSN：1005-2402
  • 国内统一刊号：ISSN：11-3398/TH
  • 邮发代号:2-636
  • 获奖情况:
  • 2008-2009年度全国广告行业文明单位,2007年获机械工业期刊质量评审一等奖,2005年北京市职工数控技能大赛"最佳媒体宣传"奖,第三届（2002年）中国科学技术协会所属优秀科技期...,第二届（1997年）中国科学技术协会所属优秀科技期...,国家机械工业部1993-1994年度优秀科技期刊一等奖,1990-1992年度北京市广告协会颁发的 "重信誉、创...,国家机械电子工业部1981年度优秀科技期刊一等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
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