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Control Analysis of Point-to-point Positioning Based on Macro-micro Stage
  • 期刊名称:Applied Mechanics and Materials
  • 时间:2013
  • 页码:1563-1569
  • 相关项目:面向微电子制造的高速高精度运动平台的设计及控制科学问题与关键技术研究
作者: Jiwen Fang|
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