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应变硅NMOSFET中电子迁移率的增强及其温度特性
  • 期刊名称:固体电子学研究与进展,Vol.27,pp.436-439, 2007.
  • 时间:0
  • 相关项目:适用于65nm技术代以后的CMOS器件栅工程和沟道工程关键技术研究
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