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高性能绝缘层上应变硅动态阈值MOSFET的优化设计
  • 期刊名称:微电子学,Vol.38, No.1, pp.72-75, 2008
  • 时间:0
  • 相关项目:适用于65nm技术代以后的CMOS器件栅工程和沟道工程关键技术研究
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