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Morphological evolution of SiGe films covered with and without native oxide during vacuum thermal an
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:Journal of Applied Physics
  • 时间:0
  • 页码:2660-2664
  • 语言:英文
  • 相关项目:Si基高效率发光新结构制备研究
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