Si基高效率发光材料和结构是实现全Si光电集成的关键问题,也是全世界近年来研究热点。本项目组在合同执行过程中,通过探索得到的实验方法,在理论指导下,很好的完成了合同书中的各项要求。取得的成果如下 1. 在 UHV/CVD 系统下,成功的外延出高质量的Si材料和Si/SiGe量子阱材料。 2. 掌握了单层Se的在Si(100)上的吸附条件,并得到了优化的结果。 3. 在吸附了单层Se的Si(100)衬底表面用气态源外延Si层,通过RHEED,AFM,SEM,XPS的结果分析,探索得到最优的生长工艺条件。 4. 成功地在Si(100)衬底上制备出Se/Si10/Se /Si10/Se超晶格结构,并在室温下获得了光致发光。该结构及其室温下的光致发光在国际上还未见报道,这将为实现Si基发光提供一种新方法或途径。在项目完成期间,在核心和权威刊物上正式发表论文 22 篇,其中SCI收录14篇和一项专利,很好的完成了项目。
英文主题词Silicon