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Thermal annealing effects on a compositionally graded SiGe layer fabricated by oxidizing a strained
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:5363-5366
  • 语言:英文
  • 相关项目:Si基高效率发光新结构制备研究
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