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Oxidation behavior of strained SiGe layer on silicon substrate in both dry and wet ambient
  • ISSN号:0013-4651
  • 期刊名称:JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
  • 时间:0
  • 页码:H156-H159
  • 语言:英文
  • 相关项目:Si基高效率发光新结构制备研究
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