采用阳极氧化法以HNO3/乙二醇/水为电解液制备不同形貌特征的Ti O2薄膜,研究阳极氧化电压、氧化时间和退火温度等参数对Ti O2薄膜形貌结构的影响,并利用一级动力学反应进一步探究不同制备条件对光电催化活性的影响。利用场发射扫描电镜(SEM)对Ti O2纳米薄膜形貌结构进行表征,并通过X射线衍射(XRD)分析Ti O2纳米薄膜的晶相组成、晶粒尺寸。结果表明,不同制备条件对Ti O2纳米薄膜的形貌结构有着显著的影响。阳极氧化电压与氧化时间交互影响其形貌结构和光催化活性。当阳极氧化电压为40 V、氧化10 min,500℃退火1 h制备得到的Ti O2纳米薄膜光电催化活性最高。