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中文摘要：
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。
英文摘要：
A piezoelectric micropump based on MEMS technology is presented. Polydimethylsiloxane （PDMS） is utilized to form the diaphragm, two passive check valves are formed by anisotropic etching of bulk silicon, and a piezoelectric bimorph is used as the actuator. The displacement of the PZT bimorph and the chamber volume change are analyzed, and the flow rate is measured. When a 100 V, 20 Hz square wave signal is applied, the piezoelectric micropump reaches its maximum flow rate, 317 μL/min. The result shows that the piezoelectric micropump-is easy to fabricate and has a good performance to propel liquids.
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