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溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅膜的厚度与其介电特性之间的关系
  • 期刊名称:Applied Mechanics and Materials
  • 时间:2011.7.7
  • 页码:688-692
  • 相关项目:振动驱动MEMS压电-磁电复合微能源技术研究
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