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基于深反应离子刻蚀的高深宽比微槽结构制造
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：MICROSYSTEM TECHNOLOGIES
  • 时间：2013.1.1
  • 页码：1097-1103
  • 相关项目：振动驱动MEMS压电-磁电复合微能源技术研究
作者： Maoxiang Guo|Xiujian Chou|Jiliang Mu|Bing Liu|Jijun Xiong|
同期刊论文项目
振动驱动MEMS压电-磁电复合微能源技术研究
期刊论文 33 专利 2 著作 1
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