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Quanta 200F场发射环境扫描电镜故障排除二例
  • ISSN号：1001-232X
  • 期刊名称：《分析仪器》
  • 时间：0
  • 分类：TK16[动力工程及工程热物理—热能工程]
  • 作者机构：[1]北京自然博物馆,北京100050
  • 相关基金：北京市科学技术研究院青年骨干计划（2012-017）。
作者： 夏晓飞, 张辰, 张雪松, 许波
关键词： 扫描电镜, 维护, 修理, ESEM, maintenance, repair
中文摘要：

本文主要介绍FEI公司的Qunta200F场发射扫描电子显微镜故障检查和排除方法，以及电镜日常维护的一些体会，以供参考。

英文摘要：

This paper introduced some malfunction maintenance experiences of ESEM Qunta200F pro-duced by FEI company .

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期刊信息
  • 《分析仪器》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国机械工业联合会
  • 主办单位:中国仪器仪表行业协会 北京市北分仪器技术公司
  • 主编：张经华
  • 地址：北京市海淀区温泉北清路160号
  • 邮编：100095
  • 邮箱：fxyqzz@126.com
  • 电话：010-62403151
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-232X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1822/TH
  • 邮发代号:6-90
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,英国英国皇家化学学会文摘
  • 被引量:5244