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Investigations on the gate oxide dependence of AC RTN characteristics in nanoscaled MOSFETs: SiON vs
  • 所属机构名称:北京大学
  • 会议名称:2013 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application, VLSI-TSA 2013
  • 时间:2013
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:新型围栅硅纳米线MOS器件的涨落性与可靠性研究
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