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Fabrication of high-aspect-ratio electrode array by combining UV-LIGA with micro electro-discharge m
  • ISSN号：0946-7076
  • 期刊名称：Microsystem Technologies-Micro-And Nanosystems-Inf
  • 时间：0
  • 页码：519-525
  • 语言：英文
  • 相关项目：微细电加工及其微小装备的基础研究
作者： Zeng, Y. B.|Ming, P. M.|Zhu, D.|Qu, N. S.|Hu, Yang-Yang|
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微细电加工及其微小装备的基础研究
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