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钢基体电沉积Cu、Ni膜的残余应力及其在线测量
  • ISSN号：1672-6871
  • 期刊名称：河南科技大学学报(自然科学版)
  • 时间：0
  • 页码：4-7
  • 语言：中文
  • 分类：TB43[一般工业技术] O484.2[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳471003, [2]洛阳理工学院机电系,河南洛阳471023, [3]河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室,河南洛阳471003
  • 相关基金：国家自然科学基金项目（50771042）;河南省高校科技创新人才基金项目（2009HASTIT023）;河南省基础与前沿技术研究计划项目（092300410064）
  • 相关项目：基于电子理论金属纳米晶体塑性变形机理及金属薄膜内应力形成机制研究与实验验证
作者： 张伟|任凤章|贾淑果|田保红|孙娟|
关键词： 薄膜, 残余应力, 在线测量, 电子理论
中文摘要：

采膈电沉积法在碳素钢基片上分别沉积Cu膜和Ni膜，用数码相机拍摄沉积不同膜厚时基片的弯曲状况，并上传到计算机计算出薄膜内的平均残余应力及分布残余应力：结果表明：Cu膜和Ni膜的平均残余应力和分布残余应力均为拉应力；当膜厚较小时（0．5～3μm），Cu膜的平均残余应力和分布残余应力随膜厚的增加急尉降低，随着膜厚的进一步增加两种残余应力都趋于稳定；Ni膜的平均残余应力随着膜辱的增加而增加，分布残余应力总体趋势是随着膜厚的增加而增加。由实验结果可以认为Cu膜内的界面应力为托应力而Ni膜内的界面应力为压应力，与基于Thomas—Fermi—Dirac—Cheng（TFDC）电子理论的判断结果一致。

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期刊信息
  • 《河南科技大学学报：自然科学版》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:河南省教育厅
  • 主办单位:河南科技大学
  • 主编：苏娟华
  • 地址：河南省洛阳市开元大道263号
  • 邮编：471023
  • 邮箱：hkdxbz@haust.edu.cn
  • 电话：0379－64231476
  • 国际标准刊号：ISSN：1672-6871
  • 国内统一刊号：ISSN：41-1362/N
  • 邮发代号:36-285
  • 获奖情况:
  • 1999年全国优秀高校自然科学学报及教育部优秀科技...,全国高校自然科学优秀学报,河南省优秀科技期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,德国数学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:4775