用透射电子显微镜对不同轧制变形量的TiNbTaZr合金进行观察分析,结果表明:该合金轧制前为单相β相,轧制后出现应力诱发马氏体α"相,变形主要以位错-滑移为主,有少量马氏体α"相形成,马氏体α"相为正交晶系,单胞参数a=0.3152 nm,b=0.4854 nm,c=0.4642 nm;β相与马氏体α"相的位向关系为(011)β//(010)α″,(011)β//(002)α″,(100)β//(100)α″,[100]β//[100]α″。硬度检测表明:TiNbTaZr合金的硬度值随变形量的增大而增加,变形过程中形成的高密度位错是硬度值增大的主要原因。