分别采用双槽法和单槽法制备了不同调制波长的Cu/Ni多层膜,研究了多层膜硬度与调制波长之间的关系。结果表明,当调制波长大于33nnl时.硬度与调制波长的关系符合Hall—Perch关系式;小于33nm时,偏离了Hall~Perch关系式;等于21nm时,硬度出现了峰值,约为HV451.8。