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大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测
  • ISSN号:1007-2276
  • 期刊名称:红外与激光工程
  • 时间:2013.3.25
  • 页码:716-722
  • 分类:O439[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
  • 相关基金:863计划(08663NJ090);国家自然科学基金(61036015)
  • 相关项目:大口径离轴高次非球面加工和检测基础研究
作者: 王孝坤|
中文摘要:

为了获得大口径凸非球面反射镜全口径的面形,提出了利用子孔径拼接检测大口径凸非球面的新方法。利用干涉仪标准球面波前依次干涉测定大口径镜面上各个区域的相位分布,通过子孔径拼接算法即可求解得到镜面全口径面形信息。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了大口径拼接检测算法的数学模型,设计并研制了大口径反射镜拼接检验装置。结合实例对一口径为260mm的碳化硅凸非球面反射镜进行了9个子孔径的拼接干涉测量,并将拼接检测结果与全口径面形测量结果进行对比,两种方法测量面形PV值和RMS值的偏差分别为0.043λ和0.021λ(λ=632.8nm)。

英文摘要:

In order to obtain the figure error of the whole large convex aspherical mirror, a new method for testing large convex asphere by subaperture stitching and interferometry so called SSI was proposed. A perfect sphere mirror was used as the reference surface, the phase distribution of each subaperture could be measured by the digital wavefront interferometer, and the full surface map could be calculated by stitching several subapertures. The basic principle and theory of SSI were studied, the stitching process and prototype for test of large aspheres were devised and developed, and the setup of SSI for measuring of large aspherical surface was designed and manufactured. A convex SiC asphere mirror with the aperture of 260 mm was tested by SSI with 9 subapertures. For the validation, the aspheric mirror was also measured by null compensation, the difference of PV and RMS error was 0.043λ and 0.021λ, respectively (λ is 632.8 nm). It provides an another accurate testing method for aspherical surface especially for large convex aspherical mirror.

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期刊信息
  • 《红外与激光工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国航天科工集团
  • 主办单位:天津津航技术物理研究所
  • 主编:张锋
  • 地址:天津市空港经济区中环西路58号
  • 邮编:300308
  • 邮箱:irla@csoe.org.cn
  • 电话:022-58168883 /4/5
  • 国际标准刊号:ISSN:1007-2276
  • 国内统一刊号:ISSN:12-1261/TN
  • 邮发代号:6-133
  • 获奖情况:
  • 1996年获航天系统第五次科技期刊评比三等奖,1998年获航天系统第六次科技期刊评比二等奖,1997-2001年在天津市科技期刊评估中被评为一级期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:17466