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条纹反射法检测光学反射镜面形
  • ISSN号:1004-4213
  • 期刊名称:《光子学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN247[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,长春130033, [2]中国科学院大学,北京100049
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(No.61036015)资助
中文摘要:

针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反射法来检测光学反射镜.研究分析了条纹反射检测系统的原理及系统误差,运用光线追迹软件对条纹反射检测100mm口径反射镜面形进行建模仿真,并对已经加工完成的100mm口径旋转对称球面反射镜进行了检测,测量得到的面形误差峰谷值及均方根值分别为0.523μm和0.086μm,满足该过渡阶段的检测需求.

英文摘要:

Large shape errors can be found from the stage of fine grinding to the beginning of polish, it is proved that it can't satisfy the measuring requirements to test the mirrors with profilers or ordinary interferometer in that stage. To obtain the optical mirrors' shape error based on fringe reflection, the method of high precision and large dynamic is proposed. The principle and system errors of the testing system were analyzed. To verify the feasible of the testing system, the model of testing on a reflecting mirror (the aperture is 100 mm) was built and simulated by ray tracing. The preliminary testing data on rotational symmetry spherical mirror is: PV is 0. 523μm, RMS is 0. 086μm, The feasibility of the testing system based on fringe reflection used in this period is verified.

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期刊信息
  • 《光子学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 西安光机所
  • 主编:侯洵
  • 地址:西安市高新区新型工业园信息大道17号47分箱
  • 邮编:710119
  • 邮箱:photo@opt.cn
  • 电话:029-88887564
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-4213
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1235/O4
  • 邮发代号:52-105
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,曾获中国光学学会先进期刊奖,中国科学院优秀期刊三等奖,陕西省国防期刊一等奖等
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:20700