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子孔径拼接检测光学平面反射镜技术
  • ISSN号:1007-2276
  • 期刊名称:《红外与激光工程》
  • 时间:0
  • 分类:O439[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]齐齐哈尔大学应用技术学院,黑龙江齐齐哈尔161000, [2]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027
  • 相关基金:国家自然科学基金(61036015)
中文摘要:

干涉检测作为高精度光学面形加工的基础,其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题,基于子孔径拼接算法,提出了一种拼接因子用于重叠区域取值,同时利用Φ100 mm口径干涉仪对Φ120 mm口径平面反射镜完成拼接检验,并将拼接检测结果与利用Φ150 mm口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析,实验结果表明,拼接结果无“拼痕”,拼接检测结果与全口径测量结果PV与RMS的相对偏差分别为7.25%与7.14%,检测面形是一致的,由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。

英文摘要:

As the fundamental factor of high precision optical producing, the testing accuracy of interferometry is the key of producing accuracy. In order to solve the problem of large optical flat mirror testing, a kind of stitching factor was provided for overlapped area values, based on the stitching algorithm. At the meantime, the stitching measurement was completed for a Φ120 mm flat mirror with aΦ100 mm interferometer. Comparing the stitching result with the full aperture testing result with a Φ150 mm interferometer, it turns out that the stitching result is smooth and the relative deviation of PV and RMS between the stitching result and the full aperture testing result is 7.25% and 7.14% respectively. The testing result is consistent, verifying the reliability and accuracy of the stitching testing.

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期刊信息
  • 《红外与激光工程》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国航天科工集团
  • 主办单位:天津津航技术物理研究所
  • 主编:张锋
  • 地址:天津市空港经济区中环西路58号
  • 邮编:300308
  • 邮箱:irla@csoe.org.cn
  • 电话:022-58168883 /4/5
  • 国际标准刊号:ISSN:1007-2276
  • 国内统一刊号:ISSN:12-1261/TN
  • 邮发代号:6-133
  • 获奖情况:
  • 1996年获航天系统第五次科技期刊评比三等奖,1998年获航天系统第六次科技期刊评比二等奖,1997-2001年在天津市科技期刊评估中被评为一级期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:17466