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计算全息图补偿检测离轴非球面中的投影畸变校正技术
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:中国激光
  • 时间:2013.11.10
  • 页码:-
  • 分类:O439[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033, [2]中国科学院大学,北京100049
  • 相关基金:国家973计划(2011CB013205)、国家自然科学基金重点项目(61036015)致射感谢黎发志、王旭、焦健、刘小玲等同志对本文工作的帮助.
  • 相关项目:大口径离轴高次非球面加工和检测基础研究
中文摘要:

为了校正利用计算全息图(CGH)补偿检测离轴非球面引入的二维投影畸变,提出了基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法。通过追迹检测光路求解畸变映射函数,借助镜面特征点实现畸变校正结果与镜面的高精度对准,利用校验特征点实现校正误差检验。将该技术实际应用于某项目800mm×600mm离轴非球面主镜检测和加工,检测结果与工件面形位置误差由校正前80mm降低至1mm以下。根据畸变校正后的数据,对该镜采用离子束抛光,最终面形精度[用均方根(RMS)误差表示]达到0.0162A(A=0.6328μm)。

英文摘要:

In order to correct the distortion introduced in the null testing with computer generated hologram (CGH) for off-axis aspheric, a mapping distortion method is proposed based on affine transformation of the test ray. The distortion mapping function is solved by ray tracing. The high alignment accuracy between the calibration result and the mirror surface is realized with feature points on the mirror, and calibration points are utilized to test the correction error. An off-axis asphere with size of 800 mm X 600 mm is tested. After mapping distortion correction, the position error between the test result and the prototype's profile is reduced from 80 mm to less than 1 ram. The corrected output is applied to polish the mirror by ion beam and its accuracy [-represented by root-mean-square (RMS) error] is 0.0162A(A=0.6328μm).

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849