位置:成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
大口径标准球面镜组研制与应用
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:中国激光
  • 时间:2014.6.10
  • 页码:287-292
  • 分类:TQ171.65[化学工程—玻璃工业;化学工程—硅酸盐工业] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
  • 相关基金:国家973计划(2011CB013205)、国家自然科学基金重点项目(61210015)
  • 相关项目:大口径离轴高次非球面加工和检测基础研究
作者: 薛栋林|
中文摘要:

为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350mm、焦距为4400mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某项目Φ为320mm、R为4092mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。结果表明采用该大口径标准球面波透镜组为大口径长曲率半径凸面反射镜提供了一种高精度检测的手段,解决了大口径长曲率半径凸面反射镜检测难题,采用该标准球面镜结合基于数字样板的非零位检测方法也可完成浅度非球面或自由曲面面形实时高精度检测。

英文摘要:

In order to realize testing of a large aperture convex sphere, large aperture standard transmission spheres are designed and manufactured. The system focal length of 4400 mm, Ф 350 mm aperture are required. The design and performance comparison, surface quality and radius of curvature testing, large aperture SiC convex sphere surface testing are complished. The simulation result analysis of optical design software shows that the wavefront performance of the system design is 0. 0001λ [peak to valley (PV), λ = 632.8 nm], and it can offer a high-quality spherical wave and the reference spherical surface quality is up to 0. 088λ (PV, λ= 632.8 nm), 0. 006λ[root mean square (RMS), λ=632.8 nm]. For a SiC convex sphere of Ф320 mm aperture and 4092 mm radius of curvature the manufactured results of the surface quality are up to 0. 1022, (PV, λ = 632.8 nm), 0. 011λ (RMS, λ= 632.8 nm). The results indicates that the large aperture standard transmission spheres are helpful for the testing large aperture convex sphere surface with large radius of curvature, the highly precision testing is complished only by standard sphere and non-null testing method based on digital mask, and the problems of large-aperture convex asphere or freeform mirror testing are solved.

同期刊论文项目
同项目期刊论文
期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849