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大口径凸非球面反射镜检测补偿器的误差标定
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:《中国激光》
  • 时间:0
  • 分类:TN216[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
  • 相关基金:国家973计划(2011CB0132005)、国家自然科学基金重点项目(61036015)
中文摘要:

大口径凸非球面反射镜的检测是非球面检测中的难题,而零位补偿检测方法是精确检测大口径凸非球面反射镜的有效检测方法之一,但是随着补偿器口径的增大,在补偿器的加工和装调中难免引入误差。文章针对与球面偏差不大的凸非球面反射镜补偿检测,提出了一种用标准球面在线标定补偿器误差的方法,并对一凸非球面补偿检测中的误差进行了标定,使用标定后的补偿器对该凸非球面反射镜进行了补偿检测,并对标定误差进行了分析,标定前补偿器误差方均根值(RMS)为0.097A(波长λ=632.8nm),标定后综合检测误差RMS值小于0.0046λ,满足该凸非球面反射镜设计精度要求。

英文摘要:

Testing of the large-aperture convex aspheric mirror is a very difficult task in the aspherical testing. The null lens compensator is one of the efficient methods for testing the large-aperture convex aspheric mirrors. However, with the aperture increasing, some unavoidable errors are induced in the fabrication and adjustment of the compensator. In this paper, a method using a standard sphere mirror is proposed to calibrate the error of the compensator. The system error in the compensator is tested and calibrated. The calibrated compensator is used to measure the large-aperture aspheric mirror. The calibration error is also analyzed. The root-mean-square (RMS) error before calibration is 0. 097 2 (wavelength λ = 632.8 nm), which significantly deteriorates the testing calibration is smaller than 0. 0046λ, which satisfies the mirror. accuracy in the null lens testing. The final testing RMS error after designed precision requirement of the large-aperture convex aspheric

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849