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大口径离轴凸非球面的加工和检测
  • ISSN号:1004-4213
  • 期刊名称:《光子学报》
  • 时间:0
  • 分类:TQ171.65[化学工程—玻璃工业;化学工程—硅酸盐工业] O436.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,长春130033
  • 相关基金:The National High-tech Research and Development Program of China(No.O8663NJ090); the National Program on Key Basic Research Projects of China(No.2011CB0132005); the National Natural Science Foundation of China(No.61036015)
中文摘要:

将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工,并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例,对一口径为292mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8nm).

英文摘要:

The testing method combining systemic wave aberration testing with subaperture stitching interferometry was proposed for measuring large off-axis convex aspheric mirror. The basic principle and process of the technology were analyzed and researched, and the stitching mathematical model was established. When the large convex surface is polished very well and the primary mirror and tertiary mirror of the optical system are fabricated by computer controlled optical surfacing and magneto rheological finishing, the three mirror astigmatism system can be aligned and adjusted. The wave aberration of each field can be tested by aligning and calibrating the optical system successively, and the phase map of the whole aperture can be calculated by the synthetical optimization stitching algorithm and interpolation. With engineering examples, a three mirror astigmatism optical system with a large convex aspheric mirror with the aperture of 292 mm×183 mm was fabricated and tested by the method. At last, the root mean square of the surface error is 0.017λ(λ=632.8 nm).

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期刊信息
  • 《光子学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 西安光机所
  • 主编:侯洵
  • 地址:西安市高新区新型工业园信息大道17号47分箱
  • 邮编:710119
  • 邮箱:photo@opt.cn
  • 电话:029-88887564
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-4213
  • 国内统一刊号:ISSN:61-1235/O4
  • 邮发代号:52-105
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,曾获中国光学学会先进期刊奖,中国科学院优秀期刊三等奖,陕西省国防期刊一等奖等
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:20700