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大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术
  • ISSN号:1004-924X
  • 期刊名称:《光学精密工程》
  • 时间:0
  • 分类:TG74[金属学及工艺—刀具与模具]
  • 作者机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林长春130033
  • 相关基金:国家自然科学基金重点项目(No.61036015);国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605202)
中文摘要:

为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系。最后,根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点,将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低阶面形误差与高阶面形误差,使用不同加工方式分别对高、低阶面形误差驻留时间进行求解。通过多种加工方式组合加工的方法建立了具有针对性的加工策略,有效提高加工效率。结合工程实例,对一块口径为2.04 m的非球面SiC反射镜进行了加工试验,单个组合加工周期内面形收敛效率达到61.2%。结果表明,高阶与低阶面形误差均得到较好的去除。材料去除效率与面形收敛效率均得到提高,达到了良好的效果,满足加工需求。

英文摘要:

In order to improve material removal efficiency and error map convergence efficiency of large aspheric mirror, a multi-mode technique was introduced based on the separation of high and low order errors. First, the effect of tool size on period of surface error was analyzed. Then the convergence ef- ficiency and dwell time between small and big polishing heads were compared. According to the error features during the fabrication process of large aspheric mirror, the surface error map was divided to low-order and high-order frequency errors. The dwell time of different tools was calculated. Accord- ingly multi-mode polishing strategy was employed in terms of the low order and high order errors, thus improving the processing efficiency. A large aspheric mirror with the aperture of 2.04 m was pol- ished by the multi-mode technique. The result shows that the convergence rate is 61.20%in a single polishing circle. The low-order and high-order frequency errors are well removed, and the material re- moval efficiency and error map convergence efficiency are improved. Good processing results are a-chieved, which meet the demand of fabrication.

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期刊信息
  • 《光学精密工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国仪器仪表学会
  • 主编:曹健林
  • 地址:长春市东南湖大路3888号
  • 邮编:130033
  • 邮箱:gxjmgc@sina.com;gxjmgc@ciomp.ac.cn
  • 电话:0431-86176855 84613409传
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-924X
  • 国内统一刊号:ISSN:22-1198/TH
  • 邮发代号:12-166
  • 获奖情况:
  • 三次获得“百种中国杰出学术期刊”,2006年获得中国科协择优支持基金,2007年获“吉林省新闻出版精品期刊奖”,2008年获“中国精品科技期刊”,2012年《光学精密工程》看在的3篇论文获得中国百...,第三届中国出版政府奖提名奖
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:22699