超声电机是一种新型的微型电机,与传统的电磁电机相比它具有很多优点。基于这些优点超声电机可以在诸如定位、跟踪等方面有较好的应用。本文将超声电机作为于定位工作台的驱动部件,由两台行波型超声电机分别带动工作台的X、Y轴上的滚珠丝杠旋转,实现X-Y工作台的精确定位,定位精度可以达到2微米。