随着科学技术的不断发展,汽车电子已经成为了汽车工业发展的关键技术,传感器是汽车电子产品中的基础产品,也是关键产品。为了满足汽车工业的新需求,各种新技术和新材料的研发使传感器以及传感器系统不断进步和升级。微机电系统(MEMS)技术用于制作各种性能敏感的微型传感器,在汽车中得到了广泛的运用。