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环境气体对激光烧蚀制备纳米Si晶粒平均尺寸的影响
  • ISSN号:1001-4381
  • 期刊名称:材料工程
  • 时间:0
  • 页码:247-250
  • 语言:中文
  • 分类:O484.1[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(10774036);河北省自然科学基金资助项目(E2005000129,E2008000631);河北省教育厅自然科学资助项目(Z2007222)
  • 相关项目:激光烧蚀制备纳米硅晶粒成核区动力学研究
中文摘要:

采用脉冲激光烧蚀装置,在不同环境气体下,沉积制备了含有纳米Si晶粒的薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察样品的表面形貌,并对晶粒尺寸进行统计分析.发现不同环境气体下,纳米Si晶粒平均尺寸均随衬底与靶的距离增加有着先增大后减小的规律;通过分析比较,同等条件下Ne气环境下制备的纳米si晶粒平均尺寸最小。

英文摘要:

The nanocrystalline silicon films containing nanoparticles were prepared by pulsed laser ab- lation in different ambient gas. Surface morphology of the Si film was observed by scanning electron microscopy (SEM) and was found that the average size of Si nanoparticles prepared in different gas all increased initially and then decreased with distance between the target and the substrate increasing. The average size of Si nanoparticles was the smallest under the condition of Ne ambient gas.

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期刊信息
  • 《材料工程》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国航空工业集团公司
  • 主办单位:中国航空工业集团公司 北京航空材料研究院
  • 主编:曹春晓
  • 地址:北京市海淀区温泉镇环山村8号
  • 邮编:100095
  • 邮箱:matereng@biam.ac.cn
  • 电话:010-62496276
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-4381
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1800/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:16726