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c-BN薄膜的生长过程和可重复性的
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，2006，26（增刊），57-60
  • 时间：0
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的p型掺杂和薄膜p-n结的研制
作者： 刘钧锴，邓金祥，陈浩，田凌，陈
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