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衬底温度对宽带隙立方氮化硼薄膜
  • 期刊名称：半导体学报，2005，26（12），2369-2373
  • 时间：0
  • 相关项目：立方氮化硼薄膜的p型掺杂和薄膜p-n结的研制
作者： 陈浩，邓金祥，陈光华，刘钧锴，
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立方氮化硼薄膜的p型掺杂和薄膜p-n结的研制
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