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Optical properties of hexagonal boron nitride thin films deposited by radio frequency bias magnetron sputtering
  • ISSN号：1674-1056
  • 期刊名称：《中国物理B：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：O613.81[理学—无机化学;理学—化学] O539[理学—等离子体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]School of Applied Mathematics and Physics, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China, [2]School of Physical Science and rechnology,Lanzhou University, Lanzhou 730000, China
  • 相关基金：Project supported by the National Natural Science Foundation of China （Grants Nos 60876006 and 60376007） and the Natural Science Foundation of Beijing （Grants No 4072007）.
作者： 邓金祥[1], 张晓康[1,2], 姚倩[2], 汪旭洋[1], 陈光华[1], 贺德衍[2]
关键词： 六方氮化硼, 沉积薄膜, 磁控溅射, 光学性质, 偏压, 射频, 六角形, 傅里叶变换红外光谱, hexagonal boron nitride films, sputtering, UV-visible, optical properties
中文摘要：

Corresponding author. E-maih jdeng@bjut.edu.cn

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期刊信息
  • 《中国物理B：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会和中国科学院物理研究所
  • 主编：欧阳钟灿
  • 地址：北京 中关村 中国科学院物理研究所内
  • 邮编：100080
  • 邮箱：
  • 电话：010-82649026 82649519
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-1056
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5639/O4
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:406