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Influence of the strain of AlN buffer layer on the strain evolution of GaN epilayer grown on 3-in 6H
  • 期刊名称:Advanced Materials Research
  • 时间:0
  • 页码:1242-1245
  • 语言:英文
  • 相关项目:InAlN/GaN无应变新异质结场效应晶体管材料研究
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