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MEMS器件气密性封装的低温共晶键
  • 期刊名称：传感器与微系统,2006, 25, 1, 82-84.
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 张东梅,丁桂甫,汪红,姜政,姚锦元
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期刊论文 24 会议论文 5
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