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LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究
  • 期刊名称：电子工艺技术,2005, 26, 1, 1-5.
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 李永海,丁桂甫,毛海平,张永华
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期刊论文 24 会议论文 5
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