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RF磁控溅射制备钛酸锶钡BST纳米
  • 期刊名称：压电与声光,2006, 28, 2, 205-208. (EI收录)
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 马骏,冯洁,杨春生,丁桂甫
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