提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新颖桥式共面波导(BCPW)结构,采用准静态分析方法对其特征阻抗、导体损耗、介质损耗等基本参数进行了理论计算,并与传统共面波导进行了比较分析.结果表明,新设计具有无辐射损耗、宽阻、低损耗、对加工工艺要求低等优点.