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叠层光刻胶牺牲层工艺研究
  • 期刊名称：微细加工技术,2005, 3, 62-66. (EI收录)
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 姜政,丁桂甫,张永华,倪志萍,毛海
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期刊论文 24 会议论文 5
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