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电化学选择性刻蚀Cu/Ni牺牲层技
  • 期刊名称：传感器技术,2005, 24, 4, 84-88.
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 李永海,丁桂甫,张永华,曹莹
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移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
期刊论文 24 会议论文 5
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