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一种新型MEMS微驱动器的设计与仿
  • 期刊名称：传感器与微系统, 2006, 25, 12 , 85-88
  • 时间：0
  • 相关项目：移相器用电磁型集成双稳态RF MEMS开关
作者： 张永华,王艳,丁桂甫,马骏,赵小林
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期刊论文 24 会议论文 5
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