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微纳加工技术在微纳电子器件领域
  • 期刊名称：物理, 2006, 35(1): 47-50
  • 时间：0
  • 相关项目：用于SOC的高速低功耗器件研究
作者： 刘明*, 陈宝钦, 谢常青, 王丛舜,
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